主要技术指标：
（1）极靴：高分辨型；点分辨型：≤0.19nm，线分辨率：≤0.10nm，信息分辨率：≤0.14nm；电子枪类型：肖特基发射电子枪；加速电压：最高200kV，最小步长：50V。
（2）STEM：BF像分辨率：0.2nm；HAADF像分辨率：0.2nm（原子序数衬度像）；分析能力：可以配合能谱仪进行线扫描和面分布分析。
（3）EDS：探测器类型：（80mm²电制冷型）；能量分辨率;127eV；元素分析范围：4Be至92U；具有点、线、面定量分析功能。
（4）底插式CCD相机（GATAN 832.20B）：分辨率：≥4008×2672像素；CCD像素尺寸：≥9m×9m。
