主要技术指标：
（1）形貌分辨率：横向分辨率：05nm,纵向分辨率：0.2nm,电畴横向分辨率：100nm，磁畴横向分辨率：100nm。
（2）AFM、MFM采用探针扫描模式，XYZ方向扫描范围≥90μm×90μm×9μm，全量程闭环控制，能实现大气环境和液体环境的样品测量。
（3）电磁铁控制的水平磁场和垂直磁场，磁场强度：水平方向≥0.2T，垂直方向≥0.08T，并带循环水冷装置。
（4）配备无油机械泵和化学泵两用装置，能实现10^-3torr低真空样品测试环境。
（5）样品液体池。封闭式设计，兼容常规培养皿，控制液体注入；含样品温度控制功能，温度控制范围：大气环境下-30℃～＋120℃，液体环境下-10℃～＋60℃，温度精度0.05℃。
